因为各种真空泵的性能不同,除了满足容器真空的共同点。因此,在选择时,必须明确泵在真空系统中所承担的任务是非常重要的。总结了泵在不同工作领域的作用
1)作为系统中的主泵,所谓主泵就是将真空系统的容器直接抽真空,以获得满足工艺要求的真空度。
2)粗泵,粗泵是指真空泵从大气压开始降低真空系统压力,达到另一个泵送系统可以开始工作。
3)前级泵,前级泵是一种真空泵,用于保持另一个泵的前级压力低于其高许可的前级压力。
4)维护泵,维护泵是指真空系统非常小时,不能有效使用主前泵。为此,真空系统中的另一个辅助前泵,以保持主泵的正常运行或低压真空泵所需的容器。
5)粗真空泵或低真空泵.低真空泵是指在低真空或粗真空压力范围内工作的真空泵,从大气开始降低被抽容器的压力。
6)高真空泵,高真空泵是指在高真空范围内工作的真空泵。
7)超高真空泵,超高真空泵是指在超高真空范围内工作的真空泵。
8)增压泵,增压泵通常是指在低真空泵和高真空泵之间工作的真空泵,以提高泵系统在中间压力范围内的泵量,或降低前的泵速率。